2025年5月20日下午，工程科学论坛之“微加工技术及其应用”报告会在西区力学一楼237室举办，中国科大工程与材料科学实验中心高级工程师朱五林应邀主讲。
朱五林老师为与会师生带来了一场精彩报告。开篇，他介绍了微系统加工平台的现状。该平台管理着15台总价值超2700万元人民币的高端设备，多年来凭借出色表现，多次获评合肥大型仪器区域中心优秀机组，堪称行业标杆。在用户服务与工艺拓展方面，平台成绩显著。年服务机时达12000小时，为众多项目提供支撑；还积极参与多项工艺改造挖掘项目，持续推动科研创新。
报告第二部分，朱老师详细介绍了平台仪器及其参数功能。他列举了紫外光刻机、磁控溅射台、氧化/扩散炉、电感耦合等离子体刻蚀系统（ICP）等关键设备。紫外光刻机用于精细刻蚀，磁控溅射台负责薄膜沉积，氧化/扩散炉精准控制氧化与扩散，ICP则能对块体材料进行精准刻蚀。对于薄膜沉积仪器，朱老师深入对比了不同原理设备的特点。热融化法虽能控制沉积方向，但成膜均匀性和密度欠佳；等离子体溅射法成膜均匀性和密度好，却难以保证沉积方向性。
最后，朱老师以具体应用示例收尾。他介绍了平台在制备倒漏斗形和锥形硅基实心微针阵列、具有二级高度结构的亚微米级微流控芯片模具（采用间接纳米加工技术和SU8紫外光刻）、尖端具10×10微米平滑端面的基于NV色心自旋探测硅微梁等方面的成果，展现了平台在前沿科技领域的强大实力。在自由提问环节，师生们就相关问题与朱五林老师进行了交流。
报告人简介：
朱五林，中国科学技术大学工程与材料科学实验中心高级工程师。2009年开始从事微米尺度结构加工及测试服务，包括紫外光刻工艺相关的微米器件及系统、生物微机电系统、基于压电陶瓷的微系统设计、飞秒激光微纳米制造技术、扫描探针显微镜测量及其标准化。主持中国科学院“中央级科学事业单位改善科研条件专项资金”科研装备项目，中科院创新仪器研制项目，校青年创新基金项目，同步辐射国家实验联合基金及面向科研院所及企业技术开发共计十项，参与国家重大专项及基金委项目共计十余项，以第一作者在J. Alloys Comp., Mater. Res. Bull., Opt. Mater. 等期刊上发表多篇SCI论文，获国家发明专利授权1项，参与国家标准2项，国际标准1项。
本次报告会为2025年工程科学论坛第32期报告，报告由研究生教育创新项目支持。
撰稿人：王敏 李耀永 胡俊
（热科学和能源工程系）